2、薄膜傳感器

    薄膜傳感器的制造涉及了納米等先進(jìn)技術(shù)，薄膜傳感器的制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上，用敏感材料形成一層薄膜。薄膜傳感器在制作時(shí)也可以復(fù)合一些電路系統(tǒng)，這需要使用到混合工藝。

    3、厚膜傳感器

    厚膜傳感器和薄膜傳感器相對(duì)應(yīng)，也是在基片上形成膜來(lái)進(jìn)行制造，區(qū)別是厚膜傳感器是在陶瓷制造的基片上，用敏感材料的漿料進(jìn)行涂覆。厚膜傳感器的制造材料多是氧化鋁，涂層形成后進(jìn)行熱處理，這樣厚膜即可成型。

    4、陶瓷傳感器

    陶瓷傳感器即新工藝的應(yīng)用也是傳統(tǒng)材料的應(yīng)用，陶瓷傳感器所使用的陶瓷材料是精細(xì)陶瓷也被稱(chēng)為高科技陶瓷，陶瓷傳感器的制造主要是依靠標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝，完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，將成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。

    傳感器的制造工藝中厚膜傳感器和陶瓷傳感器的生產(chǎn)工藝有很多相通之處，因此也可以將厚膜傳感器制造工藝?yán)斫鉃樘沾蓚鞲衅髦圃旃に嚨囊环N變形。傳感器的各種制造工藝之間并沒(méi)有明確的優(yōu)劣之分，各個(gè)制造工藝都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足，但目前厚膜和陶瓷技術(shù)應(yīng)用的更為廣泛。

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